基板上的薄膜测量

 有许多要求仅测量基板上薄膜的透射率。许多人认为根据解决方案测量的经验在电路板上进行基线测量就足够了,但这是不合适的。

在透射测量中,透射光受到界面处样品吸收和反射的影响。在测量基板的透射率的情况下,在两个界面处发生反射,但在具有薄膜的基板的情况下,在三个界面处发生反射:空气和薄膜、薄膜和基板、以及基板和空气。如果您在电路板上进行基线测量,反射率的差异将不会反映出来,因此您将无法获得准确的测量结果。